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工控人家園 綜合討論 分享最近發生的一次設備故障處理報告

往事如風

科技改變制造

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樓主發表于: 2020-09-26 16:54

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最近發生的一次設備故障,刪除敏感章節,截取部分和大家分享交流處理過程

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三人行者必有我師，擇其善者而從之

jiaogeishui

我是楊利勇

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1樓發表于: 2020-10-05 18:40

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4點對位改成3點對位的先決條件是，工件的尺寸精度足夠高，曝光機的MASK是同一件，所以就取決于工件本身的精度，夠高的話，用對角2點也是可以的

學無止境

jiaogeishui

我是楊利勇

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2樓發表于: 2020-10-05 18:43

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通常國外的曝光機對位模式都會做好幾種，2點、3點、4點、不對位這四種

學無止境

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