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樓主  發表于: 2023-02-15 09:24
半導體生產過程中的某些工藝涉及氣體與半導體基片的反應,比如沉積工藝和刻蝕工藝,氣體的流量將對工藝結果產生重要影響。為了使生產的半導體獲得較高的良品率,必須對流入反應腔室的氣體流量進行精確控制,尤其是隨著半導體工藝集成度的不斷提高,對氣體流量的誤差要求也進一步提高。




因而隨著真空、半導體等領域對微小氣體流量控制的需求,熱式質量流量傳感器因其高精度的特點被廣泛采用。相比體積流量測量方式,熱式質量流量傳感器不依賴介質密度變化,避免了環境溫度變化帶來的測量偏差。熱式質量流量傳感器主要由毛細管、熱源、溫度傳感器三部分組成,氣體經過上游熱源并帶走熱量,使下游熱源初始溫度變化,通過溫度傳感器獲取上下游熱源溫差,此溫差與流體質量流量成線性關系。工采網推薦使用瑞士IST 熱式質量流量傳感器 - MFS02。




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